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[發(fā)明專利]光刻裝置及器件制造方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200510064163.7 申請日: 2005-04-13
公開(公告)號: CN1684001A 公開(公告)日: 2005-10-19
發(fā)明(設(shè)計)人: A·Y·科勒斯恩臣科;J·J·M·巴塞曼斯;S·N·L·多納斯;C·A·胡根達姆;H·詹森;J·J·S·M·梅坦斯;J·C·H·穆肯斯;F·G·P·皮特斯;B·斯特里科克;F·J·H·M·特尤尼斯森;H·范桑坦 申請(專利權(quán))人: ASML荷蘭有限公司
主分類號: G03F7/20 分類號: G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 代理人: 肖春京
地址: 荷蘭維*** 國省代碼: 荷蘭;NL
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 光刻 裝置 器件 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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