[發(fā)明專利]用于鉭阻擋層的化學機械拋光漿料有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510030869.1 | 申請日： | 2005-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN1955249A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 宋偉紅;陳國棟;顧元;徐春;宋鷹 | 申請（專利權(quán)）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 上海虹橋正瀚律師事務所 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203上海市浦東新區(qū)張江高*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 阻擋 化學 機械拋光 漿料 | ||
【權(quán)利要求書】：
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