[發(fā)明專利]用于鉭阻擋層的化學(xué)機(jī)械拋光漿料有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510030869.1 | 申請(qǐng)日： | 2005-10-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1955249A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宋偉紅;陳國(guó)棟;顧元;徐春;宋鷹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 上海虹橋正瀚律師事務(wù)所 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203上海市浦東新區(qū)張江高*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 阻擋 化學(xué) 機(jī)械拋光 漿料 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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