[實用新型]一種晶圓反應室的閥門結構無效
| 申請號： | 200420073072.0 | 申請日： | 2004-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN2713238Y | 公開（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發明（設計）人： | 吳維岳 | 申請（專利權）人： | 吳維岳 |
| 主分類號： | F16K3/02 | 分類號： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 | 代理人： | 張應 |
| 地址： | 臺灣省嘉義縣水*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反應 閥門 結構 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于吳維岳，未經吳維岳許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200420073072.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
