[實用新型]一種晶圓反應室的閥門結構無效
| 申請號： | 200420073072.0 | 申請日： | 2004-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN2713238Y | 公開（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發明（設計）人： | 吳維岳 | 申請（專利權）人： | 吳維岳 |
| 主分類號： | F16K3/02 | 分類號： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 | 代理人： | 張應 |
| 地址： | 臺灣省嘉義縣水*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反應 閥門 結構 | ||
【權利要求書】：
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