[發(fā)明專利]漿料成分及利用其的CMP方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410101122.6 | 申請日： | 2004-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN1637102A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔在光;李在東;洪昌基 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 林宇清;謝麗娜 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 漿料 成分 利用 cmp 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于三星電子株式會社，未經(jīng)三星電子株式會社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200410101122.6/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
