[發明專利]漿料成分及利用其的CMP方法無效
| 申請號： | 200410101122.6 | 申請日： | 2004-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN1637102A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發明（設計）人： | 崔在光;李在東;洪昌基 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 林宇清;謝麗娜 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 漿料 成分 利用 cmp 方法 | ||
【權利要求書】：
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