[發明專利]超薄自支撐聚酰亞胺濾光薄膜的物理氣相沉積制備方法無效
| 申請號： | 200410053815.2 | 申請日： | 2004-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN1598041A | 公開（公告）日： | 2005-03-23 |
| 發明（設計）人： | 吳永剛;戚同非;王占山;王勇 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海東亞專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳樹德 |
| 地址： | 20009*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 超薄 支撐 聚酰亞胺 濾光 薄膜 物理 沉積 制備 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于同濟大學，未經同濟大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200410053815.2/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種打谷、脫粒機
- 下一篇：一種液、氣介質管道輸送時的精確計量系統
- 同類專利
- 專利分類
