[發(fā)明專利]超薄自支撐聚酰亞胺濾光薄膜的物理氣相沉積制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410053815.2 | 申請日： | 2004-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN1598041A | 公開（公告）日： | 2005-03-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 吳永剛;戚同非;王占山;王勇 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海東亞專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳樹德 |
| 地址： | 20009*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 超薄 支撐 聚酰亞胺 濾光 薄膜 物理 沉積 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
