[發明專利]銅導線鑲嵌結構無效
| 申請號： | 200410018458.6 | 申請日： | 2004-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN1700462A | 公開（公告）日： | 2005-11-23 |
| 發明（設計）人： | 郭強 | 申請（專利權）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/52 | 分類號： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201203上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導線 鑲嵌 結構 | ||
【說明書】：
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