[發(fā)明專利]銅導線鑲嵌結(jié)構(gòu)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410018458.6 | 申請日： | 2004-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN1700462A | 公開（公告）日： | 2005-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 郭強 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/52 | 分類號： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201203上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 導線 鑲嵌 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
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