[發明專利]光刻膠層中減小圖案尺寸的方法有效
| 申請號： | 200410011596.1 | 申請日： | 2002-07-04 |
| 公開（公告）號： | CN1652024A | 公開（公告）日： | 2005-08-10 |
| 發明（設計）人： | 菅田祥樹;金子文武;立川俊和 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 宋莉;賈靜環 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 膠層中 減小 圖案 尺寸 方法 | ||
【權利要求書】：
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