[發明專利]具有可調固有頻率的MEMS系統掃描鏡無效
| 申請號： | 200380108793.9 | 申請日： | 2003-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1739053A | 公開（公告）日： | 2006-02-22 |
| 發明（設計）人： | 傅冶中;郭廷棟 | 申請（專利權）人： | 先進奈米系統公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 可調 固有頻率 mems 系統 掃描 | ||
【說明書】：
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