[發(fā)明專利]具有可調(diào)固有頻率的MEMS系統(tǒng)掃描鏡無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200380108793.9 | 申請日： | 2003-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1739053A | 公開（公告）日： | 2006-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 傅冶中;郭廷棟 | 申請（專利權(quán)）人： | 先進奈米系統(tǒng)公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 可調(diào) 固有頻率 mems 系統(tǒng) 掃描 | ||
【權(quán)利要求書】：
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