[其他]微孔篩的制造方法

在審

• 申請號: 101986000005330
• 申請日: 1986-08-30
• 公開（公告）號: CN1004124B
• 公開（公告）日: 1989-05-10
• 發明（設計）人: 莫德·蔡·多伊奇;塔馬·蘭多;理查德·E·戈登
• 申請（專利權）人: 科學診斷公司
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 陶增煒;章社杲

1、一種制造微孔篩的方法，包括：

（a）把一層光刻膠涂在一個導電基板上，

（b）使光刻膠的預選區域定影，以產生被定影光刻膠的間斷區域柵狀陣列形式的圖形表面，

（c）除去剩余的光刻膠，暴露導電基板的連續區域，

（d）電鍍該基板，

（e）除去基板和定影的光刻膠，產生成品的微孔篩;

步驟（a）中所需的導電基板由下列分步驟制得：

（ⅰ）準備一個剛性的、在其主要表面上形成有一個相對地大的微孔的導電框架部件，構成大微孔的區域至少等于成品微孔篩所具有的微孔柵狀陣列的區域;

（ⅱ）用可硬化的導電材料填充大微孔;

（ⅲ）使導電材料硬化，以產生相應于大微孔形狀并由導電框架包圍的光滑表面導電基板。

2、如權利要求1的方法，其特征為導電框架部件由銅或黃銅制成。

3、如權利要求1的方法，其特征為可硬化導電材料是伍德合金（Wood's alloy）。

4、如權利要求1的方法，其特征為大微孔由直徑1000微米至3000微米的圓形成，孔中心被定在框架部件主要表面的幾何中心。

5、如權利要求1的方法，其特征為光刻膠為照像乳膠。

6、如權利要求1的方法，其特征為定影的光刻膠間斷區域高1至2微米，寬7至11微米，并以15至25微米的距離互相隔開，定影的光刻膠的上述間斷區域總共為100至10，000個。

7、如權利要求1的方法，其特征為電鍍的金屬為鎳。

8、如權利要求1的方法，其特征為硬化的光滑表面的導電材料伸出框架部件的包圍表面的平面一小段距離。

9、如權利要求1的方法，其特征為硬化的導電材料光滑表面基本上為光學平。

10、一種制造微孔篩的方法，包括：

（a）把一層光刻膠涂在一個導電基板上，

（b）使光刻膠的預選區域定影，以產生被定影光刻膠的間斷區域柵狀陣列形式的圖形表面，

（c）除去剩余的光刻膠，暴露導電基板的連續區域，

（d）電鍍該基板，

（e）除去基板和定影的光刻膠，產生成品的微孔篩;

步驟（a）中所需的導電基板由下列分步驟制得：

（ⅰ）準備一個由導電的第一種金屬制成的并具有連續的上下表面的剛性框架部件;

（ⅱ）在下表面涂上抵抗框架部件金屬腐蝕作用的非導電涂層，該涂層包圍著上述下表面裸露的區域，該區域就在要制做微孔篩的上表面部分的下面，未涂覆的上表面提供所需要的基板;

然后，在步驟（d）中，用與第一種金屬不同的第二種金屬電鍍;在步驟（e）中，在將要構成微孔篩的電鍍金屬下面，框架部件的金屬有選擇地被腐蝕，并且最后除去定影的光刻膠。

11、如權利要求10的方法，其特征為框架部件的金屬是銅或黃銅，電鍍的金屬是鎳。