[其他]一種等離子陽極化方法

在審

• 申請號: 101986000002538
• 申請日: 1986-10-29
• 公開（公告）號: CN86102538B
• 公開（公告）日: 1988-11-02
• 發明（設計）人: 李瓊
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司
• 代理人: 湯錦森;俞允超

1、一種等離子陽極化方法，其中含有反應室，電感耦合的射頻放電，熱陰極直流放電，

工作氣體為O₂，本發明的特征在于采用射頻電源和直流電源共同激發的氣體放電，真空反應室中加工作氣壓0.5～10TOrr。

2、按權利要求1規定的一種等離子陽極化方法，其特征在于真空反應室中的工作氣體可以是O₂，N₂O，干燥空氣，O₂+Ar或其他含氧氣體。

3、一種等離子陽極化設備，其中含有電爐、反應室、射頻電源、直流電源、電極，本發明的特征在于真空放電室中的平行板電容器式的下電極上，鑲裝一圈與下電極板金屬材料絕緣的半徑一定的園陽極。多圈陽極結構是在平板電容器式的下電極上，鑲裝二圈或二圈以上與下電極金屬材料絕緣的半徑一定的陽極。陽極裝在下電極上，與下電極絕緣，其位置與下電極邊緣及中心孔等距。單片連續刻蝕結構是下電極中心安裝一個單一與下電極絕緣，半徑一定的陽極，其半徑小于下電極半徑。該陽極材料可為金屬鋁，或其他耐氧化導電金屬材料，以云母片和絕緣子與下電極絕緣，其連接線由下電極下方引出。

4、按權利要求3規定的一種等離子陽極化設備，其特征在于真空反應室中的平行電容器式的二個電極上加上大功率射頻電壓，下電極上與之絕緣的陽極結構上與上電極形成直流回路，并在該直流回路中使用大功率直流電源。