[發(fā)明專利]不飽和單體、聚合物、化學(xué)增幅抗蝕劑組合物、和形成圖案的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03801743.1 | 申請日： | 2003-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN1692130A | 公開（公告）日： | 2005-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 前田勝美;中野嘉一郎 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本電氣株式會社 |
| 主分類號： | C08F20/28 | 分類號： | C08F20/28;C08F32/08;C08G61/12;C07D307/93;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 樊衛(wèi)民;楊青 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 不飽和 單體 聚合物 化學(xué) 增幅 抗蝕劑 組合 形成 圖案 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于日本電氣株式會社，未經(jīng)日本電氣株式會社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03801743.1/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：功率放大器效率
- 下一篇：家庭電子資源共享系統(tǒng)
- 化學(xué)處理方法和化學(xué)處理裝置
- 基礎(chǔ)化學(xué)數(shù)字化學(xué)習(xí)中心
- 化學(xué)處理方法和化學(xué)處理裝置
- 化學(xué)清洗方法以及化學(xué)清洗裝置
- 化學(xué)強(qiáng)化組合物、化學(xué)強(qiáng)化方法及化學(xué)強(qiáng)化玻璃
- 化學(xué)天平（無機(jī)化學(xué)）
- 電化學(xué)裝置的化學(xué)配方
- 化學(xué)強(qiáng)化方法、化學(xué)強(qiáng)化裝置和化學(xué)強(qiáng)化玻璃
- 化學(xué)強(qiáng)化方法及化學(xué)強(qiáng)化玻璃
- 化學(xué)打尖方法和化學(xué)組合物
