[發(fā)明專利]不飽和單體、聚合物、化學(xué)增幅抗蝕劑組合物、和形成圖案的方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03801743.1 | 申請(qǐng)日： | 2003-06-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1692130A | 公開（公告）日： | 2005-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 前田勝美;中野嘉一郎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本電氣株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C08F20/28 | 分類號(hào)： | C08F20/28;C08F32/08;C08G61/12;C07D307/93;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 樊衛(wèi)民;楊青 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 不飽和 單體 聚合物 化學(xué) 增幅 抗蝕劑 組合 形成 圖案 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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