[發(fā)明專利]從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03800777.0 | 申請日： | 2003-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN1543596A | 公開（公告）日： | 2004-11-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 杉山一彥;池田信一;西野功二;土肥亮介;上野山豐己 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社富士金;東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張?zhí)彀?鄭建暉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 備有 流量 控制 裝置 氣體 供給 設(shè)備 分流 方法 | ||
【說明書】：
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