[發明專利]從備有流量控制裝置的氣體供給設備向腔室的氣體分流供給方法有效
| 申請號： | 03800777.0 | 申請日： | 2003-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN1543596A | 公開（公告）日： | 2004-11-03 |
| 發明（設計）人： | 杉山一彥;池田信一;西野功二;土肥亮介;上野山豐己 | 申請（專利權）人： | 株式會社富士金;東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張天安;鄭建暉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 備有 流量 控制 裝置 氣體 供給 設備 分流 方法 | ||
【權利要求書】：
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