[發(fā)明專利]光刻標(biāo)記結(jié)構(gòu)、光刻投射裝置和進(jìn)行基片對(duì)準(zhǔn)的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03164840.1 | 申請(qǐng)日： | 2003-09-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1534387A | 公開（公告）日： | 2004-10-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·J·F·范哈倫;P·C·欣南;S·拉巴哈多爾辛;E·C·莫斯;H·梅亙斯;M·范德沙爾;J·休布雷格塞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F9/00 | 分類號(hào)： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國(guó)省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光刻 標(biāo)記 結(jié)構(gòu) 投射 裝置 進(jìn)行 對(duì)準(zhǔn) 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 同步數(shù)字體系網(wǎng)絡(luò)標(biāo)記交換的標(biāo)記處理方法
- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記頭和標(biāo)記裝置
- 用于通過(guò)標(biāo)記光線標(biāo)記物體的標(biāo)記設(shè)備
- 標(biāo)記裝置以及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記系統(tǒng)
- 激光標(biāo)記方法、激光標(biāo)記機(jī)及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 用于標(biāo)記標(biāo)記對(duì)象的標(biāo)記系統(tǒng)
- 標(biāo)記方法及標(biāo)記裝置
- 卡片結(jié)構(gòu)、插座結(jié)構(gòu)及其組合結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)平臺(tái)結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 單元結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)部件和夾層結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)扶梯結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)隔墻結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)連接結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
