[發(fā)明專利]半導(dǎo)體晶片的清洗液及清洗方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03151423.5 | 申請日： | 2003-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN1603395A | 公開（公告）日： | 2005-04-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪釘崇;洪明杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/32 | 分類號： | C11D7/32 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 晶片 清洗 方法 | ||
【說明書】：
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