[發明專利]半導體晶片的清洗液及清洗方法有效
| 申請號： | 03151423.5 | 申請日： | 2003-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN1603395A | 公開（公告）日： | 2005-04-06 |
| 發明（設計）人： | 汪釘崇;洪明杰 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/32 | 分類號： | C11D7/32 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 晶片 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司，未經中芯國際集成電路制造（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03151423.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
