[發明專利]多參數微傳感器有效
| 申請號: | 03141154.1 | 申請日: | 2003-06-11 |
| 公開(公告)號: | CN1566938A | 公開(公告)日: | 2005-01-19 |
| 發明(設計)人: | 李華清;蔡新霞;王利;崔大付 | 申請(專利權)人: | 中國科學院電子學研究所 |
| 主分類號: | G01N27/26 | 分類號: | G01N27/26;G01N27/333;G01N27/416;G01N33/66 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人: | 周國城 |
| 地址: | 100080北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 參數 傳感器 | ||
【說明書】:
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