[發(fā)明專利]多參數(shù)微傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03141154.1 | 申請(qǐng)日： | 2003-06-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1566938A | 公開（公告）日： | 2005-01-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李華清;蔡新霞;王利;崔大付 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院電子學(xué)研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/26 | 分類號(hào)： | G01N27/26;G01N27/333;G01N27/416;G01N33/66 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 100080北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 參數(shù) 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書】：
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