[發(fā)明專利]制造納米器件的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03109529.1 | 申請(qǐng)日： | 2003-04-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1535915A | 公開（公告）日： | 2004-10-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉明;陳寶欽;徐秋霞;鄭英葵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院微電子中心 |
| 主分類號(hào)： | B82B3/00 | 分類號(hào)： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 10002*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制造 納米 器件 方法 | ||
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