[發(fā)明專利]制造納米器件的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03109529.1 | 申請日: | 2003-04-09 |
| 公開(公告)號: | CN1535915A | 公開(公告)日: | 2004-10-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉明;陳寶欽;徐秋霞;鄭英葵 | 申請(專利權)人: | 中國科學院微電子中心 |
| 主分類號: | B82B3/00 | 分類號: | B82B3/00 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人: | 湯保平 |
| 地址: | 10002*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制造 納米 器件 方法 | ||
【權利要求書】:
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