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[發(fā)明專利]制造納米器件的方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 03109529.1 申請日: 2003-04-09
公開(公告)號: CN1535915A 公開(公告)日: 2004-10-13
發(fā)明(設計)人: 劉明;陳寶欽;徐秋霞;鄭英葵 申請(專利權)人: 中國科學院微電子中心
主分類號: B82B3/00 分類號: B82B3/00
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 湯保平
地址: 10002*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 制造 納米 器件 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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