[發(fā)明專利]微型電阻型濕度傳感器芯片、傳感器及其制備方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03104787.4 | 申請(qǐng)日： | 2003-02-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1431489A | 公開（公告）日： | 2003-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張大成;張威;孫良顏;蘇衛(wèi)國(guó);錢永貴;李婷;王瑋;王兆江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/04 | 分類號(hào)： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京華一君聯(lián)專利事務(wù)所 | 代理人： | 余長(zhǎng)江 |
| 地址： | 100871 北京市海*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微型 電阻 濕度 傳感器 芯片 及其 制備 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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