[發明專利]微型電阻型濕度傳感器芯片、傳感器及其制備方法無效
| 申請號： | 03104787.4 | 申請日： | 2003-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN1431489A | 公開（公告）日： | 2003-07-23 |
| 發明（設計）人： | 張大成;張威;孫良顏;蘇衛國;錢永貴;李婷;王瑋;王兆江 | 申請（專利權）人： | 北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京華一君聯專利事務所 | 代理人： | 余長江 |
| 地址： | 100871 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 電阻 濕度 傳感器 芯片 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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