[發(fā)明專利]壓阻式微型氣體流量計芯片及其制備方法和流量計無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03104785.8 | 申請日： | 2003-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN1431470A | 公開（公告）日： | 2003-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張大成;王小保;錢勁;李婷;劉蓓;張威;王兆江;王陽元 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京大學(xué) |
| 主分類號： | G01F1/00 | 分類號： | G01F1/00;G01F1/56 |
| 代理公司： | 北京華一君聯(lián)專利事務(wù)所 | 代理人： | 余長江 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 式微 氣體 流量計 芯片 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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G01 測量；測試
G01F 容積、流量、質(zhì)量流量或液位的測量；按容積進行測量
G01F1-00 測量連續(xù)通過儀表的流體或流動固體材料的流量或質(zhì)量流量
G01F1-05 .應(yīng)用機械效應(yīng)
G01F1-56 .應(yīng)用電或磁效應(yīng)
G01F1-66 .通過測量電磁波或其他波的頻率、相位移或傳播時間，例如，超聲波流量計
G01F1-68 .應(yīng)用熱效應(yīng)
G01F1-704 .應(yīng)用標(biāo)記區(qū)域或液流內(nèi)存在的不均勻性，例如應(yīng)用一液體參數(shù)統(tǒng)計性地發(fā)生的變化
G01F 容積、流量、質(zhì)量流量或液位的測量；按容積進行測量
G01F1-00 測量連續(xù)通過儀表的流體或流動固體材料的流量或質(zhì)量流量
G01F1-05 .應(yīng)用機械效應(yīng)
G01F1-56 .應(yīng)用電或磁效應(yīng)
G01F1-66 .通過測量電磁波或其他波的頻率、相位移或傳播時間，例如，超聲波流量計
G01F1-68 .應(yīng)用熱效應(yīng)
G01F1-704 .應(yīng)用標(biāo)記區(qū)域或液流內(nèi)存在的不均勻性，例如應(yīng)用一液體參數(shù)統(tǒng)計性地發(fā)生的變化
