[發明專利]壓阻式微型氣體流量計芯片及其制備方法和流量計無效
| 申請號： | 03104785.8 | 申請日： | 2003-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN1431470A | 公開（公告）日： | 2003-07-23 |
| 發明（設計）人： | 張大成;王小保;錢勁;李婷;劉蓓;張威;王兆江;王陽元 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | G01F1/00 | 分類號： | G01F1/00;G01F1/56 |
| 代理公司： | 北京華一君聯專利事務所 | 代理人： | 余長江 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 式微 氣體 流量計 芯片 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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