[發明專利]TDI檢測裝置、饋通裝置、應用這些裝置的電子束設備以及應用以電子束設備的半導體器件制造方法無效
| 申請號： | 02809989.3 | 申請日： | 2002-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN1520680A | 公開（公告）日： | 2004-08-11 |
| 發明（設計）人： | 畠山雅規;佐竹徹;村上武司;渡邊賢治;野路伸治 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | H04N3/15 | 分類號： | H04N3/15;H01J37/26;G01N21/956;H01R13/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | tdi 檢測 裝置 應用 這些 電子束 設備 以及 用以 半導體器件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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