[發(fā)明專利]離子源燈絲和方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02807672.9 | 申請日： | 2002-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN1526154A | 公開（公告）日： | 2004-09-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 詹米·M·雷耶斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備聯(lián)合公司 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J27/08 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 過曉東 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 離子源 燈絲 方法 | ||
【說明書】：
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