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[發(fā)明專利]離子源燈絲和方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 02807672.9 申請日: 2002-04-03
公開(公告)號: CN1526154A 公開(公告)日: 2004-09-01
發(fā)明(設(shè)計)人: 詹米·M·雷耶斯 申請(專利權(quán))人: 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備聯(lián)合公司
主分類號: H01J37/08 分類號: H01J37/08;H01J27/08
代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 代理人: 過曉東
地址: 美國馬*** 國省代碼: 美國;US
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 離子源 燈絲 方法
【權(quán)利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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