[發(fā)明專利]微波等離子體處理裝置及等離子體處理控制方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02807326.6 | 申請(qǐng)日： | 2002-03-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1500370A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 大見忠弘;平山昌樹;須川成利;后藤哲也 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社;大見忠弘 |
| 主分類號(hào)： | H05H1/00 | 分類號(hào)： | H05H1/00;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京東方億思專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微波 等離子體 處理 裝置 控制 方法 | ||
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