[發明專利]微波等離子體處理裝置及等離子體處理控制方法無效
| 申請號： | 02807326.6 | 申請日： | 2002-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN1500370A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 大見忠弘;平山昌樹;須川成利;后藤哲也 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社;大見忠弘 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京東方億思專利代理有限責任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波 等離子體 處理 裝置 控制 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于東京毅力科創株式會社;大見忠弘，未經東京毅力科創株式會社;大見忠弘許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/02807326.6/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
