[發明專利]特定拓撲結構的濺射靶無效
| 申請號： | 02805169.6 | 申請日： | 2002-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN1545568A | 公開（公告）日： | 2004-11-10 |
| 發明（設計）人： | E·李 | 申請（專利權）人： | 霍尼韋爾國際公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 盧新華;王其灝 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 特定 拓撲 結構 濺射 | ||
【說明書】：
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