[實用新型]用于真空鍍膜工藝的光束共蒸發專用裝置無效
| 申請號： | 02240534.8 | 申請日： | 2002-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN2546457Y | 公開（公告）日： | 2003-04-23 |
| 發明（設計）人： | 朱亞彬;周岳亮;王淑芳;許加迪;陳正豪;呂惠賓;楊國楨 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京隆天律誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王鳳華 |
| 地址： | 100080 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 真空鍍膜 工藝 光束 蒸發 專用 裝置 | ||
【權利要求書】：
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