[實(shí)用新型]用于真空鍍膜工藝的光束共蒸發(fā)專用裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02240534.8 | 申請(qǐng)日： | 2002-06-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN2546457Y | 公開（公告）日： | 2003-04-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱亞彬;周岳亮;王淑芳;許加迪;陳正豪;呂惠賓;楊國(guó)楨 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/24 | 分類號(hào)： | C23C14/24;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京隆天律誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 王鳳華 |
| 地址： | 100080 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 真空鍍膜 工藝 光束 蒸發(fā) 專用 裝置 | ||
【說(shuō)明書】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
