[發(fā)明專利]正片型感光性抗蝕劑組合物及其用途

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02141379.7
• 申請日: 2002-07-09
• 公開（公告）號(hào): CN1397841A
• 公開（公告）日: 2003-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田原修二;柴原立子;森田守次;山本喜博;小野一良
• 申請（專利權(quán)）人: 三井化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00;G03F7/039
• 代理公司: 北京銀龍專利代理有限公司
• 代理人: 閻娬斌

1.一種正片型感光性抗蝕劑組合物，其特征在于，含有具有至少一個(gè)二氯乙酰基的化合物作為酸發(fā)生劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正片型感光性抗蝕劑組合物，其特征在于，具有至少一個(gè)二氯乙酰基的化合物由下述通式(1)表示：

【化1】式(1)中，R1、R2、R3、R5表示從氫原子、鹵素原子、氰基、碳數(shù)1～3的直鏈或分支的無取代烷基、由羥基取代的碳數(shù)1～3的直鏈或分支的烷基及苯基中選擇的取代基，R4表示從氫原子、鹵素原子、氰基、碳數(shù)1～3的直鏈或分支的無取代烷基、由羥基取代的碳數(shù)1～3的直鏈或分支的烷基、苯基及二氯乙酰基中選擇的取代基，X表示從O、S、CH₂、C(CH₃)₂、C＝O中選擇的2價(jià)的連結(jié)基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正片型感光性抗蝕劑組合物，其特征在于，還含有酸感應(yīng)性共聚物，該酸感應(yīng)性共聚物含由下述通式(2)表示的第1構(gòu)成單位：

【化2】由下述通式(3)表示的第2構(gòu)成單位：

【化3】式(3)中，R6表示氫原子或甲基，R7表示碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基、由羥基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基、由鹵素原子取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基、由氰基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基或由二烷基氨基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基；和由下述通式(4)表示的第3構(gòu)成單位：

【化4】式(4)中，R8表示氫原子或甲基，R9表示氫原子、鹵素原子或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基，Z表示氫原子、碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的取代烷基，Y表示碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的取代烷基，Y和Z也可以結(jié)合形成環(huán)結(jié)構(gòu)，a，b，c表示摩爾組成比，合計(jì)為1。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的正片型感光性抗蝕劑組合物，其特征在于，由上述通式(1)表示的第1構(gòu)成單位的組成比a是0.05～0.3，由上述通式(2)表示的第2構(gòu)成單位的組成比b是0.5～0.9，由上述通式(3)表示的第3構(gòu)成單位的組成比c是0.01～0.4，三個(gè)構(gòu)成單位的組成比的總和為1。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的正片型感光性抗蝕劑組合物，其特征在于，上述酸感應(yīng)性共聚物是將含有以各自摩爾比的合計(jì)為1摩爾為條件含0.05～0.3摩爾份數(shù)的4-(1-甲基乙烯基)苯酚、0.5～0.9摩爾份數(shù)的由以下通式(5)表示的(甲基)丙烯酸酯類：

【化5】式中，R6表示氫原子或甲基，R7表示碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基、由羥基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基、由鹵素原子取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基、由氰基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基或由二烷基氨基取代的碳數(shù)1～6的直鏈或分支的烷基；和0.01～0.4摩爾份數(shù)的由以下通式(6)表示的(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯類而組成的單體混合物：

【化6】式中，R8表示氫原子或甲基，R9表示氫原子、鹵素或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基，Z表示氫原子、碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的取代烷基，Y表示碳數(shù)1～6的直鏈或分支的無取代烷基或碳數(shù)1～6的直鏈或分支的取代烷基，Y和Z也可以結(jié)合形成環(huán)結(jié)構(gòu)；

和自由基聚合引發(fā)劑，

和溶劑而構(gòu)成的共聚物原料進(jìn)行加熱得到的共聚物。