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[發(fā)明專利]屏蔽罩靜電荷滅弧室真空度檢測(cè)方法及其裝置無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 02137506.2 申請(qǐng)日: 2002-10-17
公開(公告)號(hào): CN1403791A 公開(公告)日: 2003-03-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 趙子玉;江秀臣;韓振東 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 上海交通大學(xué)
主分類號(hào): G01L21/00 分類號(hào): G01L21/00;H01H33/668
代理公司: 上海交達(dá)專利事務(wù)所 代理人: 王錫麟
地址: 200030*** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 屏蔽 靜電荷 滅弧室 真空 檢測(cè) 方法 及其 裝置
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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