[發明專利]屏蔽罩靜電荷滅弧室真空度檢測方法及其裝置無效
| 申請號： | 02137506.2 | 申請日： | 2002-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN1403791A | 公開（公告）日： | 2003-03-19 |
| 發明（設計）人： | 趙子玉;江秀臣;韓振東 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00;H01H33/668 |
| 代理公司： | 上海交達專利事務所 | 代理人： | 王錫麟 |
| 地址： | 200030*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 屏蔽 靜電荷 滅弧室 真空 檢測 方法 及其 裝置 | ||
【權利要求書】：
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