[發明專利]半導體存儲器及其老化篩選方法

有效

• 申請號: 02124364.6
• 申請日: 2002-06-13
• 公開（公告）號: CN1392569A
• 公開（公告）日: 2003-01-22
• 發明（設計）人: 小平覺;上原正也;小林等;熊谷敬
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G11C29/00
• 分類號: G11C29/00;H01L21/66;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 汪惠民

技術領域

本發明涉及一種半導體存儲器及其老化篩選方法。

背景技術

SRAM(static?random?access?memory)等半導體存儲器的故障分為初始故障、偶發故障、磨損故障。初始故障是由于制造半導體存儲器時的不合格、缺陷等原因而產生的故障；偶發故障是由半導體存儲器固有的可靠性決定的故障；磨損故障是由于半導體存儲器的壽命而發生的故障。其中，為了消除初始故障，進行老化篩選。所謂老化篩選是指通過使半導體存儲器在高于通常工作條件的溫度和電壓下工作，施以加速應力，據此而在短時間內除掉初始故障的不合格品的試驗。初始故障的比率比其他兩種故障高，通過用老化篩選除掉發生初始故障的半導體存儲器，來提高半導體存儲器的可靠性。

以往是以鑄型封裝等最終出廠方案來進行裝配后的老化篩選的，但是，因為在老化篩選中，成為廢品的芯片的裝配成本造成了浪費，所以越來越要求在晶片狀態下的老化篩選。

在通常的晶片水平的老化篩選中，使探頭的針接觸半導體存儲器的地址端子和數據輸入(輸入輸出)端子以及控制端子等，向各存儲單元提供電壓應力。此時，很多時候，在比標準的工作溫度范圍還高的溫度條件下使其工作，使用專用的老化篩選裝置，使之能在一次探測中同時對多個芯片施以應力。此時，除了基于通常的晶片測試的探測，還增加了基于老化篩選的探測，所以探頭的針接觸所述各端子的次數增加，因此，有時會對這些端子造成損傷，成為導致成品率下降的原因。

發明內容

鑒于以上所述問題的存在，本發明的目的在于：提供一種特別是在晶片水平的老化篩選中，能防止由于地址端子和數據輸入(輸入輸出)端子以及控制端子等的損傷而導致的成品率下降，并能縮短老化篩選的時間的半導體存儲器及其老化篩選方法。

(1)本發明一個方案的半導體存儲器，包含多個存儲單元，其特征在于：包括：

成為所述半導體存儲器的電源端子的第一端子；

成為所述半導體存儲器的接地端子的第二端子；

輸入用于使所述半導體存儲器成為老化篩選狀態的老化篩選狀態信號的第三端子；

輸入來自外部的時鐘信號的第四端子；

在所述老化篩選狀態信號的輸入中，以所述時鐘信號的計數為基礎，生成用于選擇所述多個存儲單元中的各個存儲單元的地址信號的地址信號生成部；

在所述老化篩選狀態信號的輸入中，以所述時鐘信號為基礎，生成數據信號的數據信號生成部；

在用所述地址信號選擇的存儲單元中，寫入所述數據信號的數據的數據寫入部。

根據本發明的一個方案，以來自外部的時鐘信號的計數為基礎，生成用于選擇所述多個存儲單元的地址信號，然后，以來自外部的時鐘信號為基礎生成數據信號，進行向存儲單元的寫入。因此，在老化篩選中，因為不需要地址端子和數據輸入(輸入輸出)端子以及通常動作中使用的控制端子，所以能防止地址端子和數據輸入(輸入輸出)端子以及控制端子的損傷。因此，根據本發明的第一方案，能提高半導體存儲器的制造成品率。

另外，根據本發明的一個方案，因為在老化篩選中使用的端子只是第一～第四端子。因為老化篩選的端子數有限制，所以能增加一次就能老化篩選的芯片數，從而能縮短每一個晶片的老化篩選時間。

另外，根據根發明的一個方案，以時鐘信號的計數為基礎，生成用于選擇所述多個存儲單元的地址信號，即連續生成地址，所以不需要復雜的地址信號生成電路。

并且，用發明實施例的[老化篩選狀態]欄目說明了地址信號生成部、數據信號生成部、數據寫入部的一個例子。所謂電源端子例如是VDD端子，所謂接地端子例如是VSS端子。

(2)在本發明一個方案中，

所述第一端子、所述第二端子、所述第三端子以及所述第四端子是老化篩選專用的；

可以包括：

與所述第一端子不同，成為所述半導體存儲器的電源端子的第五端子；

與所述第二端子不同，成為所述半導體存儲器的接地端子的第六端子。

根據所述結構，因為所述第一端子、所述第二端子、所述第三端子以及所述第四端子是老化篩選專用，所以即使在老化篩選時，由于探頭的針的接觸等原因而損傷了這些端子，也不會對半導體存儲器的使用造成影響。

(3)在本發明的一個方案中，

所述地址信號生成部包含計數器；

能把來自所述計數器的輸出作為所述地址信號。

(4)在本發明的一個方案中，

所述數據信號生成部包括把來自所述計數器的最終段的觸發器的輸出信號分頻的信號分頻部，能以從所述信號分頻部輸出的信號為基礎，生成所述數據信號。