[發(fā)明專利]切斷裝置及切斷方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02118655.3 | 申請日： | 2002-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN1382571A | 公開（公告）日： | 2002-12-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 長田道男;竹原克尚;松尾真 | 申請（專利權(quán)）人： | 東和株式會社 |
| 主分類號： | B28D1/24 | 分類號： | B28D1/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 王宏祥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 切斷 裝置 方法 | ||
1.一種切斷裝置，其特征在于，具有：
固定被加工物(3)的固定裝置(1)；
通過一邊以軸中心(5)為中心旋轉(zhuǎn)一邊與所述被加工物(3)接觸將該被加工物(3)切斷的刀片(6)；
通過使所述刀片(6)與所述被加工物(3)以規(guī)定的相對移動速度(VLB)移動而使所述刀片(6)與所述被加工物(3)接觸的移動機(jī)構(gòu)(DR)；
在與所述刀片(6)切斷被加工物(3)時的切斷面同一個平面內(nèi)，使作為對象的所述軸中心(5)以規(guī)定的振動速度(VRA)振動的軸中心的振動機(jī)構(gòu)(17)，
所述軸中心(5)的振動速度(VRA)比所述相對移動速度(VLB)大。
2.如權(quán)利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(17)，使作為對象的所述軸中心(5)以規(guī)定的軸中心旋轉(zhuǎn)速度(VRA)、旋轉(zhuǎn)直徑及旋轉(zhuǎn)方向圍繞規(guī)定的公轉(zhuǎn)中心公轉(zhuǎn)狀態(tài)地進(jìn)行振動。
3.如權(quán)利要求2所述的切斷裝置，其特征在于，所述刀片(6)旋轉(zhuǎn)的方向(7)與所述軸中心(5)的旋轉(zhuǎn)方向(VRA)是相同的。
4.如權(quán)利要求2所述的切斷裝置，其特征在于，所述刀片(6)旋轉(zhuǎn)的方向(7)與所述軸中心(5)的旋轉(zhuǎn)方向(VRA)是相反的。
5.如權(quán)利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(17)，利用規(guī)定的往復(fù)運(yùn)動使作為對象的所述軸中心(5)進(jìn)行振動。
6.如權(quán)利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(17)利用規(guī)定的橢圓運(yùn)動使作為對象的所述軸中心(5)進(jìn)行振動。
7.如權(quán)利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(17)，利用壓電元件的壓電效果使所述軸中心(5)振動。
8.如權(quán)利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(17)，將一方向的往復(fù)振動和與該一方向不同的另一方向的往復(fù)運(yùn)動合成而使所述軸中心(5)進(jìn)行振動。
9.一種切斷裝置，其特征在于，具有：
固定被加工物(3)的固定裝置(1)；
通過一邊以軸中心(5)為中心旋轉(zhuǎn)一邊與所述被加工物(3)接觸將該被加工物(3)切斷的刀片(6)；
通過使所述刀片(6)與所述被加工物(3)以規(guī)定的相對移動速度(VLB)移動而使所述刀片(6)與所述被加工物(3)接觸的移動機(jī)構(gòu)(DR)；
在與所述刀片(6)在切斷被加工物(3)的切斷面同一個平面內(nèi)，使作為對象的所述固定裝置(1)以規(guī)定的振動速度(VRS)振動的固定裝置(1)的振動機(jī)構(gòu)(18、19)，
所述固定裝置(1)的振動速度(VRS)比所述相對移動速度(VLB)大。
10.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(18、19)，使作為對象的所述固定裝置(1)以規(guī)定的固定裝置旋轉(zhuǎn)速度(VRS)、旋轉(zhuǎn)直徑及旋轉(zhuǎn)方向圍繞規(guī)定的公轉(zhuǎn)中心公轉(zhuǎn)狀態(tài)地進(jìn)行振動。
11.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述刀片(6)旋轉(zhuǎn)的方向(7)與所述固定裝置(1)的旋轉(zhuǎn)方向(VRS)是相同的。
12.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述刀片(6)旋轉(zhuǎn)的方向(7)與所述固定裝置(1)的旋轉(zhuǎn)方向(VRS)是相反的。
13.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(18、19)，利用規(guī)定的往復(fù)運(yùn)動使作為對象的所述固定裝置(1)進(jìn)行振動。
14.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(18、19)，利用規(guī)定的橢圓運(yùn)動使作為對象的所述固定裝置(1)進(jìn)行振動。
15.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(18、19)，利用壓電元件的壓電效果使所述固定裝置(1)振動。
16.如權(quán)利要求9所述的切斷裝置，其特征在于，所述振動機(jī)構(gòu)(19、19)，將一方向的往復(fù)運(yùn)動和與該一方向不同的另一方向的往復(fù)運(yùn)動合成而使所述固定裝置(1)進(jìn)行振動。
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