[發明專利]三柵極式離子滲鍍設備及工藝

無效

• 申請號: 02110301.1
• 申請日: 2002-04-18
• 公開（公告）號: CN1388269A
• 公開（公告）日: 2003-01-01
• 發明（設計）人: 容幸福;徐重;蘇永安;秦林
• 申請（專利權）人: 太原理工大學
• 主分類號: C23C14/42
• 分類號: C23C14/42
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司
• 代理人: 龐建英

1.一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于：由爐罩(15)、S極(16)、P極(17)、W極(18)、真空系統(19)、工作氣體(20)、W極直流電源(21)、S極直流電源(22)、P極直流電源(23)、爐底板24組成，本發明設備配置三套高壓直流電源W極直流電源(21)、S極直流電源(22)、P極直流電源(23)，功率均為5～10千瓦，電壓可調范圍均為0～1500V，三套直流電源的陰極分別接在三柵極中的S極(16)、P極(17)和W極(18)上，陽極接在爐罩(15)和爐底板(24)，真空系統(19)的真空極限要求達到5×10^-4Pa。

2.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備的使用工藝，其特征在于：首先抽真空到5×10^-4Pa～5×10^-1Pa，充入工作氣體(如Ar氣)，到工作氣壓5Pa～60Pa，而后在三柵極上分別加上各自相應的工作電壓，利用三柵極的PLUME效應、“燒孔效應”的作用，將固體材料制成的S極(16)和P極(17)中欲滲鍍元素以離子、原子、粒子團的形式濺射出來，并向W極(18)工件工作表面運動，吸附于工作表面，在工件表面溫度達到工藝要求后，保溫一段時間，然后冷卻到室溫出爐，由工件表面的工藝要求溫度高低情況，實現工件表面鍍層，擴散層和擴散層與鍍層復合層。

3.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于所述的P極(17)的孔或縫可以是一個、一排多個、一面多個。

4.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于所述的S極(16)是金屬或非金屬固體材料。

5.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于所述的W極(18)是金屬或非金屬固體材料。

6.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于所述的P極(17)是導電固體材料。

7.按照權利要求1所述的一種三柵極式離子滲鍍設備，其特征在于所述的S極(16)、P極(17)和W極(18)是固定不動的，可以在旋轉輔助設備下旋轉。