[發(fā)明專利]遠程維護方法、工業(yè)裝置和半導(dǎo)體器件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02105426.6
• 申請日: 2002-02-28
• 公開（公告）號: CN1389766A
• 公開（公告）日: 2003-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 有馬純太郎;稻葉雅章;相薗岳生;飯泉孝
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 李玲

1.用于一個系統(tǒng)的遠程維護方法，用于執(zhí)行一個具體的處理的工業(yè)裝置和用于維護所說工業(yè)裝置的一個操作裝置通過一個網(wǎng)絡(luò)彼此連接，特征在于，所說的操作裝置把指示一個維護指令的指令信息發(fā)送到所說的工業(yè)裝置，并且所說的工業(yè)裝置根據(jù)接收的指令信息執(zhí)行所說的處理，根據(jù)所說的執(zhí)行處理的內(nèi)容產(chǎn)生指示用于維護值的收費信息，并且把產(chǎn)生的收費信息的全部或一部分輸出到所說工業(yè)裝置的一個輸出裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置保持所說的操作裝置的一個用戶以及屬性信息，該屬性信息指示由彼此結(jié)合的所說的用戶保持的技術(shù)等級，并且根據(jù)相關(guān)于發(fā)送所說的指令信息的用戶的所說的屬性信息而產(chǎn)生所說的收費信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的遠程維護方法，其中根據(jù)在所說的屬性信息中指示的所說的技術(shù)等級附加收費所說的用于維護的價值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置保持指示所說工業(yè)裝置的一個處理狀態(tài)的狀態(tài)信息，并且根據(jù)在根據(jù)所說的指令信息執(zhí)行所說處理時的一個時間點的條件信息產(chǎn)生所說的收費信息。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的遠程維護方法，其中當(dāng)所說的狀態(tài)信息指示該工業(yè)裝置是在一個生產(chǎn)狀態(tài)中時，所說的用于維護的價值被打折。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置存儲使用歷史信息，該使用歷史信息指示所說的工業(yè)裝置的使用歷史，并且根據(jù)按照所說的指令信息讀出的所說的使用歷史信息的種類而產(chǎn)生所說的收費信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置輸出指示一個維護操作的狀態(tài)的狀態(tài)信息，并且根據(jù)所說的輸出狀態(tài)信息的內(nèi)容產(chǎn)生所說的收費信息。

8.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中當(dāng)涉及所說工業(yè)裝置的使用的秘密信息被公開時，所說的工業(yè)裝置打折用于維護的所說的價值。

9.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中當(dāng)涉及所說工業(yè)裝置維護的秘密信息被公開時，所說的工業(yè)裝置附加收費用于維護的所說的價值。

10.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置輸出指示一個維護操作的狀態(tài)的狀態(tài)信息，并且根據(jù)所說輸出的狀態(tài)信息的內(nèi)容產(chǎn)生所說的收費信息。

11.根據(jù)權(quán)利要求1的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置是一個半導(dǎo)體制造裝置。

12.用于一個系統(tǒng)的遠程維護方法，用于執(zhí)行一個具體的處理的工業(yè)裝置和用于維護所說工業(yè)裝置的一個操作裝置通過一個網(wǎng)絡(luò)彼此連接，特征在于，所說的操作裝置把指示一個維護指令的指令信息發(fā)送到所說的工業(yè)裝置，并且所說的工業(yè)裝置執(zhí)行根據(jù)接收的指令信息執(zhí)行處理，保持指示所說的操作裝置的一個用戶的屬性的屬性信息和條件信息，該條件信息指示為了按照所說的指令信息執(zhí)行所說的處理所需要的所說的屬性的一個條件，當(dāng)所說的工業(yè)裝置從所說的操作裝置接收所說的指令信息時讀出所說的屬性信息和所說的條件信息，并且僅當(dāng)在所說的屬性信息中的屬性滿足的在所說的條件信息中的條件時才根據(jù)所說的指令信息執(zhí)行所說的處理。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的一個遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置是一個半導(dǎo)體制造裝置。

14.用于一個系統(tǒng)的遠程維護方法，用于執(zhí)行一個具體的處理的工業(yè)裝置和用于維護所說工業(yè)裝置的一個操作裝置通過一個網(wǎng)絡(luò)彼此連接，特征在于，所說的操作裝置把指示一個維護指令的指令信息發(fā)送到所說的工業(yè)裝置，并且所說的工業(yè)裝置根據(jù)接收的指令信息執(zhí)行所說的處理，保持指示所說的工業(yè)裝置的處理的一個狀態(tài)的狀態(tài)信息和條件信息，該條件信息指示為了根據(jù)所說的指令信息執(zhí)行所說的處理所需要的涉及所說的狀態(tài)信息的條件，當(dāng)所說的工業(yè)裝置從所說的操作裝置接收所說的指令信息時讀出所說的狀態(tài)信息和所說的條件信息，并且僅當(dāng)在所說的狀態(tài)信息中的所說的狀態(tài)滿足的在所說的條件信息中的所說的條件時才根據(jù)所說的指令信息執(zhí)行所說的處理。

15.根據(jù)權(quán)利要求14的遠程維護方法，其中所說的工業(yè)裝置是一個半導(dǎo)體制造裝置。