[發(fā)明專利]遠(yuǎn)程維護(hù)方法、工業(yè)裝置和半導(dǎo)體器件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 02105426.6
• 申請日: 2002-02-28
• 公開（公告）號: CN1389766A
• 公開（公告）日: 2003-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 有馬純太郎;稻葉雅章;相薗岳生;飯泉孝
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 李玲

發(fā)明背景

<發(fā)明領(lǐng)域>

本發(fā)明涉及用于工業(yè)裝置的遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)的付帳方法與裝置，尤其涉及一種遠(yuǎn)程維護(hù)方法和一種遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)和裝置，用于實(shí)現(xiàn)控制和全面服務(wù)，以及根據(jù)維護(hù)內(nèi)容的付帳。

<已有技術(shù)>

通常，建議通過公用電話線或互聯(lián)網(wǎng)絡(luò)把生產(chǎn)商的工業(yè)裝置連接到一個裝置供應(yīng)商的維修中心并且從該維修中心遠(yuǎn)程維護(hù)該工業(yè)裝置。日本待公開專利申請No.平成11-15520建議一種使用網(wǎng)絡(luò)的遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)，通過該系統(tǒng)的使用，不管一個工業(yè)裝置的安裝區(qū)域如何，該工業(yè)裝置都能夠被維護(hù)。

近年來，尤其在半導(dǎo)體工業(yè)中，由于資本投資的劇增而引起安裝工業(yè)裝置的數(shù)量迅速增加。在這種狀態(tài)中，可能增加工業(yè)裝置的維護(hù)成本以及如何抑制該維護(hù)費(fèi)用成了一個問題。但是，這種事先為了維護(hù)而進(jìn)行付帳的一般方法是一種即使當(dāng)沒有實(shí)際的設(shè)備維護(hù)也要根據(jù)一個工業(yè)裝置的造價和業(yè)務(wù)人員的勞動成本對一個生產(chǎn)商做固定支出的付帳方法，實(shí)際存在的一個情況是該生產(chǎn)商必須支付該固定支出。而且，在日本待公開專利申請No.平成11-15520中沒有描述付帳方法。

本發(fā)明概要

本發(fā)明是隨著考慮上述問題出現(xiàn)的，本發(fā)明力圖提供一種遠(yuǎn)程維護(hù)方法、一種遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)和一種工業(yè)裝置，用于根據(jù)該遠(yuǎn)程維護(hù)操作的內(nèi)容和維護(hù)的請求目標(biāo)實(shí)現(xiàn)控制和全面服務(wù)以及付帳，并且實(shí)現(xiàn)根據(jù)業(yè)務(wù)人員的屬性的接入限度、根據(jù)該裝置狀態(tài)的接入限度以及根據(jù)該輸出模式的輸出限度。

本發(fā)明的一個實(shí)施例是一個遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)，用于執(zhí)行具體處理的一個工業(yè)裝置和為了維護(hù)該工業(yè)裝置的一個操作裝置通過一個網(wǎng)絡(luò)彼此連接，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種遠(yuǎn)程維護(hù)方法，特征在于該操作裝置把指示一個維護(hù)命令的指令信息發(fā)送到該工業(yè)裝置，并且該工業(yè)裝置根據(jù)該接收的指令信息執(zhí)行該處理，根據(jù)這執(zhí)行的處理內(nèi)容產(chǎn)生指示用于維護(hù)的價值的收費(fèi)信息，并且輸出該產(chǎn)生的收費(fèi)信息的全部或一部分。通過使用本方法，能夠完成由該工業(yè)裝置根據(jù)該維護(hù)操作內(nèi)容執(zhí)行的控制和全面服務(wù)和付帳。以利用由此付帳方法管理的一個工業(yè)裝置所制造為特征的半導(dǎo)體器件也包括在本發(fā)明的范疇中。

本發(fā)明的另一實(shí)施例是一個遠(yuǎn)程維護(hù)系統(tǒng)，用于執(zhí)行一個特定處理的一個或多個工業(yè)裝置和用于維護(hù)該工業(yè)裝置的一個或多個操作裝置通過一個網(wǎng)絡(luò)彼此連接，其提供一種遠(yuǎn)程維護(hù)方法，特征在于每一個工業(yè)裝置監(jiān)視在每一個工業(yè)裝置中的故障出現(xiàn)，產(chǎn)生用于標(biāo)識該故障條件的狀態(tài)信息，決定將要被通知該產(chǎn)生的狀態(tài)信息的操作裝置，并且把產(chǎn)生的狀態(tài)信息通知到該決定的操作裝置，并且該操作裝置根據(jù)該通知的狀態(tài)信息決定針對該工業(yè)裝置的故障解決方法，并且根據(jù)該解決方法把指示一個維護(hù)指令的指令信息發(fā)送到該工業(yè)裝置，以及該工業(yè)裝置根據(jù)該接收的指令信息執(zhí)行該處理，根據(jù)被通知了狀態(tài)信息的操作裝置的標(biāo)識符產(chǎn)生指示該維護(hù)價值的收費(fèi)信息，并且輸出該產(chǎn)生的收費(fèi)信息的全部或一部分。通過使用本方法，能夠執(zhí)行根據(jù)該維護(hù)的請求目標(biāo)的控制和全面服務(wù)和付帳。

附圖的簡要描述

圖1是表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)方框圖。

圖2是表示圖1所示的半導(dǎo)體制造裝置的結(jié)構(gòu)的方框圖。

圖3是表示由圖1示出的該半導(dǎo)體制造裝置管理的一個業(yè)務(wù)人員屬性管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖4是表示由圖1示出的由該半導(dǎo)體制造裝置管理的裝置狀態(tài)管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖5是表示儲在圖1示出的該半導(dǎo)體制造裝置中的一個程序管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖6是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一個執(zhí)行權(quán)限管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖7是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一種程序執(zhí)行歷史管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖8是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一種傳感器狀態(tài)歷史管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖9是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一種處理結(jié)果管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖10是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一個輸出控制管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖11是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一種維護(hù)結(jié)果管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖12是表示儲在圖1所示半導(dǎo)體制造裝置中的一種維護(hù)費(fèi)用管理表格的結(jié)構(gòu)。

圖13是表示在圖1所示的該半導(dǎo)體制造裝置和該操作裝置之間發(fā)送與接收的一個信息的結(jié)構(gòu)。

圖14是表示圖1所示的半導(dǎo)體制造裝置的通信單元的操作流程圖。

圖15是表示圖1所示的操作裝置的操作流程圖。

圖16是表示圖1所示的半導(dǎo)體制造裝置的通信單元的操作流程圖。