[發明專利]液態高純度物質的儲存容器

無效

• 申請號: 02103255.6
• 申請日: 2002-02-01
• 公開（公告）號: CN1378966A
• 公開（公告）日: 2002-11-13
• 發明（設計）人: 克里斯托夫;肖爾茨
• 申請（專利權）人: 西斯清潔系統股份有限公司
• 主分類號: B65D83/14
• 分類號: B65D83/14;B65B39/04;B65B55/10
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 劉興鵬

????????????????????????技術領域

本發明涉及一種供應給一消耗裝置的液態高純度物質的儲存容器，其具有一在該儲存容器被更換時用以清潔各連接件及管線的裝置。

????????????????????????背景技術

上述消耗裝置例如可為化學氣相沉積反應器(簡稱CVD反應器)。這些CVD反應器可用于生產諸如集成微電路芯片和類似元件。此外，用以生產硬材料層或玻璃纖維的裝置也必須用到液體化學品。為滿足對這些元件的日益增長的需求，必須在相關制造工藝中使用極高純度的物質。

然而，在更換裝有這種供應給該消耗裝置的物質的儲存容器時，在從儲存容器到反應器的管線中存在著帶來雜質的危險，尤其在更換儲存容器時，因不可避免的空氣流入而帶來這種危險。這可能導致供應管線內的殘留液態物質的變質，尤其是當這些物質通常屬于有機金屬或半金屬化合物時，其往往對空氣和/或濕氣十分敏感。

為消除這些雜質，因而在更換儲存容器后，必須清潔連接升流管線與消耗裝置的管線以及用于對儲存容器中的物質施壓的高壓氣體管線，其方法是用真空泵對特定管線抽真空，接著從溶劑容器吸入溶劑，再使溶劑流入一廢料容器中。這種沖洗過程一般要進行若干次。另外，這種清潔程序需要非常細致的工作以及可靠的作業人員，而且很費時(例如，必須監視溶劑容器和廢溶劑溶劑的液位以及真空狀況)，同時因為附加了溶劑容器和廢溶劑容器，所以也很費工。

???????????????????????發明內容

因此，本發明的目的是提供一種用于清潔如前面所述的儲存容器的各連接件與管線的易于處理并可靠的裝置。

根據本發明，所述的液態高純度物質的儲存容器具有一個用以清潔該儲存容器各連接件與管線的集成裝置(integrated?device)。另外，還例舉了本發明的儲存容器的一些較佳實施例。

根據本發明，儲存容器與溶劑容器和/或作為沖洗過程中的一真空源的真空容器共同構成一套裝件。

另外，還可提供一個用于沖洗的廢溶劑容器。該容器也可與真空容器結合。因此，儲存容器可與另外一個、二個或三個容器共同構成一套裝件，以便在更換儲存容器時，由一個新的套裝件予以整體更換。

由于溶劑容器、容置廢溶劑的容器以及真空容器可被設計成在更換儲存容器時，始終備有充分的溶劑、容置廢溶劑的容器和真空以供沖洗，所以可大幅度地減化管理作業，同時大幅度地降低發生作業錯誤的幾率。

在最簡化的情況下，除了液態物質的儲存容器外，該套裝件可以只包括一個溶劑容器。利用一真空泵便可產生用以清潔各連接件的真空，另可提供一個獨立于該套裝件的廢溶劑容器，以供容置廢溶劑。

此外，所提供的套裝件也可在除了儲存容器之外，只有一真空容器當作沖洗各連接件的真空源，或是在儲存容器之外只有廢溶劑容器。

然而，該套裝件除了儲存容器外，也可同時包括溶劑容器和真空容器，而真空容器當作一真空源的同時，也構成用以容置廢溶劑的容器。

溶劑容器、真空容器以及除了該真空容器之外可能另行加裝的廢溶劑容器可采用各式各樣的方式與儲存容器共同組合成一套裝件。舉例來說，這些容器可以被設在液態物質的儲存容器的旁邊、下方或其內。此外，也可提供幾個用以容置溶劑、真空和/或廢溶劑的容器。這些容器可通過圍繞主容器的雙重或多層殼套而構成。然而，它們始終與儲存容器構成一個可供用于運輸和堆放的套裝件。

真空容器可裝有一種固體吸收劑，例如一種類似沸石(zeolite)的分子篩。該吸收劑可供保持真空容器的真空狀態，即它能吸收因泄漏而滲入真空容器內的空氣。當真空容器容置廢溶劑時，該吸收劑則可用以吸收溶劑。因此，該吸收劑的性質應與溶劑相配。也就是說，如為乙烷之類的疏水溶劑時，應使用疏水吸收劑；若為乙醇之類的親水溶劑時，則使用親水溶劑。

溶劑容器、真空容器以及可以選擇設置的廢溶劑容器最好通過一截流裝置(優選地在接頭和高壓氣體管線的截流裝置之間或在接頭與升流管線的截流裝置之間)連接到高壓氣體管線和升流管線的連接件上。這些截流裝置可以是閥或栓塞等。高壓氣體管線通往儲存容器的連接件最好以一配置截流裝置的連接管線與升流管線的連接件相連接。