[發(fā)明專利]液態(tài)高純度物質(zhì)的儲存容器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02103255.6 | 申請日: | 2002-02-01 |
| 公開(公告)號: | CN1378966A | 公開(公告)日: | 2002-11-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 克里斯托夫;肖爾茨 | 申請(專利權(quán))人: | 西斯清潔系統(tǒng)股份有限公司 |
| 主分類號: | B65D83/14 | 分類號: | B65D83/14;B65B39/04;B65B55/10 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人: | 劉興鵬 |
| 地址: | 聯(lián)邦德國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 液態(tài) 純度 物質(zhì) 儲存 容器 | ||
1.一種供應給一消耗裝置的液態(tài)物質(zhì)的儲存容器,其具有一在該儲存容器被更換時用以清潔各連接件的裝置,該儲存容器具有一配置一截流裝置及一接頭的連接件,以便連接到一配置一接頭的連接件,該接頭連接至配備截流裝置的高壓氣體管線,另外還設(shè)有一配置一截流裝置及一接頭的連接件,以便把儲存容器內(nèi)的一排放管線連接到一配置一接頭與一截流裝置的連接件上,使在容器內(nèi)接受高壓氣體壓力的物質(zhì)供應到消耗裝置,還設(shè)有可供沖洗這些連接件的溶劑容器、一個廢溶劑容器和一個可將溶劑吸入所設(shè)各連接件的真空源,其中,該溶劑容器(23)和/或形成真空源的真空容器(27)與儲存容器(1)共同構(gòu)成一套裝件(30)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲存容器,其特征在于,該廢溶劑容器與儲存容器(1)共同構(gòu)成一套裝件(30)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲存容器,其特征在于,該真空容器構(gòu)成所述的廢溶劑容器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的儲存容器,其特征在于,該真空容器(27)裝有固體吸收劑(28)。
5.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的儲存容器,其特征在于,該溶劑容器(23)、真空容器(27)和/或廢溶劑容器可經(jīng)由截流裝置(25,26)被連接到高壓氣體管線(3)的連接件(13)和排放管線(17)的連接件(18)。
6.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的儲存容器,其特征在于,該高壓氣體管線(3)的連接件(13)和排放管線(17)的連接件(18)經(jīng)由配置一截流裝置(20)的連接管線(22)相連接。
7.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的儲存容器,其特征在于,該高壓氣體管線(3)和排放管線(17)的連接件(13,18)的截流裝置(15,19)與使溶劑容器(23)、真空容器(27)和/或廢溶劑容器連接到高壓氣體管線(3)和排放管線(17)的連接件(13,18)的截流裝置(25,26)設(shè)在一蓋板(41)上,該蓋板(41)設(shè)有若干可供連接件(13,18)連接到儲器容器(1)內(nèi)部與排放管線(17)和/或連接管線(22)的通道。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的儲存容器,其特征在于,該凸緣(41)閉合儲存容器(1)的開口。
9.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的儲存容器,其特征在于,該高壓氣體管線(3)和排放管線(17)的連接件(13,18)的截流裝置(15,19)和/或使溶劑容器(23)、真空容器(27)和/或廢溶劑容器連接到連接件(13,18)的截流裝置(25,26),和/或連接管線(22)的截流裝置(20),被設(shè)成可經(jīng)由控制線路(31-34)自動作業(yè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的儲存容器,其特征在于,截流裝置(14,19,20,25,26)的控制線路(31-34)通過一準備與一配合部件裝配的插頭型部件(37)連接,以便與一控制器(39)連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的儲存容器,其特征在于,該插頭型部件(37)以一快速接頭構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的儲存容器,其特征在于,該儲存容器(1)裝有一液位測量裝置,其管線被連接到插頭型部件(37),并使其與一液位指示器相連。
13.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的儲存容器,其特征在于,該儲存容器設(shè)在一圓筒體內(nèi)部,該儲存容器(1)與圓筒體環(huán)周壁面(45)之間的空間構(gòu)成廢溶劑容器(27)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的儲存容器,其特征在于,該溶劑容器(23)在儲存容器(1)與環(huán)周壁面(45)之間的空間內(nèi)圍繞儲存容器(1)設(shè)置。
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