[發(fā)明專利]磁控管濺射有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01810986.1 | 申請日: | 2001-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN1436361A | 公開(公告)日: | 2003-08-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 史蒂文·羅伯特·伯吉斯;卡斯藤·喬更斯 | 申請(專利權(quán))人: | 特利康控股有限公司;史蒂文·羅伯特·伯吉斯 |
| 主分類號: | H01J37/34 | 分類號: | H01J37/34 |
| 代理公司: | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 | 代理人: | 王永剛 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 磁控管 濺射 | ||
【說明書】:
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